用油作多級泵密封液的必要性
當前大量使用的多級泵，即使設計得較好，相向運動的零件間配合精度即使很高。在多級泵達到極限真空時，也難以阻止氣體由低真空端向入口端“突破”返流。另外，由于多級泵在設計制造及裝配中不可避免地存在有害空間，這也降低多級泵的極限真空度。油封式多級泵就是用油將相向運動的零部件和排氣閥零件間密封起來；將有害空間充填，使得高壓氣體反“突破”的機會少得多，密封性能也就好得多，從而使多級泵能達到較高的真空度。
當前大量使用的多級泵，即使設計得較好，相向運動的零件間配合精度即使很高。在多級泵達到極限真空時，也難以阻止氣體由低真空端向入口端“突破”返流。另外，由于多級泵在設計制造及裝配中不可避免地存在有害空間，這也降低多級泵的極限真空度。油封式多級泵就是用油將相向運動的零部件和排氣閥零件間密封起來；將有害空間充填，使得高壓氣體反“突破”的機會少得多，密封性能也就好得多，從而使多級泵能達到較高的真空度。
