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多晶硅裝置球閥抱死或發(fā)卡的解決方案

1. 閥座的板簧變形腔,密封性能不好,以致于硅粉進入閥座板簧變形腔,造成板簧被堵死失效后,球閥被閥座抱死從而不能很好的進行開關。

    2. 閥體與球之間的中腔在閥門開關的時候進入硅粉,使球體抱死造成閥門不能順利開關。但造成這種原因需要一個工況條件,就是在硅粉潮濕的情況下才能黏結在腔體內。而硅粉在干燥或流體的情況下是不會造成這種抱死的情況的。要是硅粉在干燥或流體的情況下造成抱死情況那就是第一種情況硅粉進入了閥座板簧變形腔了。(2011-09-14AM09:30)

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